Chip MBE პროექტი დასრულდა გასულ წლებში

ტექნიკა

მოლეკულური სხივის ეპიტაქსია, ან MBE, არის ახალი ტექნიკა ბროლის სუბსტრატებზე კრისტალების მაღალი ხარისხის თხელი ფენების გასაშენებლად.ულტრა მაღალი ვაკუუმის პირობებში, გათბობის ღუმელი აღჭურვილია ყველა სახის საჭირო კომპონენტით და წარმოქმნის ორთქლს სხივის ატომური ან მოლეკულური სხივის შეჯახების შემდეგ წარმოქმნილი ხვრელების მეშვეობით, პირდაპირი ინექცია ერთკრისტალური სუბსტრატის შესაბამის ტემპერატურაზე, აკონტროლებს მოლეკულურ სხივს. სუბსტრატის სკანირებას ერთდროულად, მას შეუძლია მოლეკულები ან ატომები კრისტალურად განლაგებულ ფენებში შექმნას თხელი ფილმი სუბსტრატის "ზრდაზე".

MBE აღჭურვილობის ნორმალური მუშაობისთვის საჭიროა მაღალი სისუფთავის, დაბალი წნევის და ულტრასუფთა თხევადი აზოტის უწყვეტი და სტაბილური ტრანსპორტირება აღჭურვილობის გაგრილების კამერაში.ზოგადად, ავზს, რომელიც უზრუნველყოფს თხევად აზოტს, აქვს გამომავალი წნევა 0.3MPa-დან 0.8MPa-მდე. თხევადი აზოტი -196℃-ზე ადვილად ორთქლდება აზოტში მილსადენის ტრანსპორტირებისას.მას შემდეგ, რაც თხევადი აზოტი გაზი-თხევადი თანაფარდობით დაახლოებით 1:700 გაზიფიცირებულია მილსადენში, ის დაიკავებს დიდი რაოდენობით თხევადი აზოტის ნაკადის ადგილს და შეამცირებს ნორმალურ ნაკადს თხევადი აზოტის მილსადენის ბოლოს.გარდა ამისა, თხევადი აზოტის შესანახ ავზში, სავარაუდოდ, არის ნამსხვრევები, რომლებიც არ არის გაწმენდილი.თხევადი აზოტის მილსადენში სველი ჰაერის არსებობა ასევე გამოიწვევს ყინულის წიდის წარმოქმნას.თუ ეს მინარევები ჩაედინება მოწყობილობაში, ეს გამოიწვევს მოწყობილობის არაპროგნოზირებად დაზიანებას.

ამიტომ, გარე შენახვის ავზში თხევადი აზოტი ტრანსპორტირდება MBE აღჭურვილობაში მტვრისგან თავისუფალ სახელოსნოში მაღალი ეფექტურობით, სტაბილურობითა და სისუფთავით, ხოლო დაბალი წნევით, აზოტის გარეშე, მინარევებისაგან, 24 საათის განმავლობაში უწყვეტად, ასეთი ტრანსპორტირების კონტროლის სისტემაა. კვალიფიციური პროდუქტი.

tcm (4)
tcm (1)
tcm (3)

შესატყვისი MBE აღჭურვილობა

2005 წლიდან HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ახორციელებს ამ სისტემის ოპტიმიზაციას და გაუმჯობესებას და თანამშრომლობს MBE აღჭურვილობის საერთაშორისო მწარმოებლებთან.MBE აღჭურვილობის მწარმოებლებს, მათ შორის DCA, REBER-ს, აქვთ თანამშრომლობითი ურთიერთობა ჩვენს კომპანიასთან.MBE აღჭურვილობის მწარმოებლები, მათ შორის DCA და REBER, თანამშრომლობდნენ უამრავ პროექტში.

Riber SA არის მოლეკულური სხივის ეპიტაქსიის (MBE) პროდუქტებისა და მასთან დაკავშირებული სერვისების წამყვანი გლობალური მიმწოდებელი ნახევრადგამტარების კვლევისა და სამრეწველო აპლიკაციებისთვის.Riber MBE მოწყობილობას შეუძლია მასალის ძალიან თხელი ფენების დეპონირება სუბსტრატზე, ძალიან მაღალი კონტროლით.HL Cryogenic Equipment-ის (HL CRYO) ვაკუუმური მოწყობილობა აღჭურვილია Riber SA-ით ყველაზე დიდი აღჭურვილობაა Riber 6000 და ყველაზე პატარა არის Compact 21. ის კარგ მდგომარეობაშია და აღიარებულია მომხმარებლების მიერ.

DCA არის მსოფლიოში წამყვანი ოქსიდის MBE.1993 წლიდან მიმდინარეობს ჟანგვის ტექნიკის სისტემატური განვითარება, ანტიოქსიდანტური სუბსტრატის გათბობა და ანტიოქსიდანტური წყაროები.ამ მიზეზით, ბევრმა წამყვანმა ლაბორატორიამ აირჩია DCA ოქსიდის ტექნოლოგია.კომპოზიტური ნახევარგამტარული MBE სისტემები გამოიყენება მთელ მსოფლიოში.HL Cryogenic Equipment-ის VJ თხევადი აზოტის ცირკულაციის სისტემას (HL CRYO) და DCA-ს მრავალი მოდელის MBE აღჭურვილობას აქვს შესაბამისი გამოცდილება ბევრ პროექტში, როგორიცაა მოდელი P600, R450, SGC800 და ა.შ.

tcm (2)

შესრულების ცხრილი

შანხაის ტექნიკური ფიზიკის ინსტიტუტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემია
ჩინეთის ელექტრონიკის ტექნოლოგიების მე-11 ინსტიტუტი
ნახევარგამტარების ინსტიტუტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემია
Huawei
Alibaba DAMO Academy
Powertech Technology Inc.
Delta Electronics Inc.
Suzhou Everbright Photonics

გამოქვეყნების დრო: მაისი-26-2021