ტექნოლოგია
მოლეკულური სხივის ეპიტაქსი, ან MBE, ახალი ტექნიკაა კრისტალების მაღალი ხარისხის თხელი ფილმების გასაზრდელად ბროლის სუბსტრატებზე. ულტრა მაღალი ვაკუუმის პირობებში, გათბობის ღუმელით აღჭურვილია ყველა სახის საჭირო კომპონენტი და წარმოქმნის ორთქლს, ხვრელების მეშვეობით, რომელიც წარმოიქმნება სხივის ატომური ან მოლეკულური სხივის კოლიმიზაციის შემდეგ, პირდაპირი ინექცია ერთჯერადი ბროლის სუბსტრატის შესაბამის ტემპერატურაზე, აკონტროლებს მოლეკულურ სხივი ამავე დროს, სუბსტრატის სკანირებას, მას შეუძლია მოლეკულები ან ატომები გახადოს ბროლის გასწორების ფენებში, რათა ჩამოყალიბდეს თხელი ფილმი სუბსტრატზე "ზრდაზე".
MBE აღჭურვილობის ნორმალური მუშაობისთვის, მაღალი სიწმინდის, დაბალი წნევის და ულტრა სუფთა თხევადი აზოტისათვის საჭიროა მუდმივად და სტაბილურად ტრანსპორტირება აღჭურვილობის გამაგრილებელ პალატაში. ზოგადად, ავზს, რომელიც უზრუნველყოფს თხევად აზოტს, აქვს გამომავალი წნევა 0.3MPa და 0.8MPa. დიდი აზოტის დროს -196 ℃ ℃ –196 ℃ –ზე ადვილად აორთქლდება აზოტში მილსადენის ტრანსპორტირების დროს. მას შემდეგ, რაც თხევადი აზოტი გაზსადენში გაზსადენში გაზის თხევადი თანაფარდობით გაზიფიცირდება, იგი დაიკავებს თხევადი აზოტის ნაკადის დიდ რაოდენობას და შეამცირებს ნორმალურ ნაკადს თხევადი აზოტის მილსადენის ბოლოს. გარდა ამისა, თხევადი აზოტის საცავის ავზში, სავარაუდოდ, ნამსხვრევები არ არის გაწმენდილი. თხევადი აზოტის მილსადენში, სველი ჰაერის არსებობა ასევე გამოიწვევს ყინულის წიდა. თუ ეს მინარევები აღჭურვილობაში შედის, ეს გამოიწვევს აღჭურვილობის არაპროგნოზირებად დაზიანებას.
ამიტომ, თხევადი აზოტი გარე საცავის ავზში ტრანსპორტირდება MBE აღჭურვილობაში მტვრისგან თავისუფალი სემინარში, მაღალი ეფექტურობით, სტაბილურობითა და სუფთა, ხოლო დაბალი წნევა, არ არის აზოტი, არ არის მინარევები, 24 საათი უწყვეტი, ასეთი სატრანსპორტო კონტროლის სისტემაა. კვალიფიციური პროდუქტი.



შესაბამისი MBE აღჭურვილობის შესატყვისი
2005 წლიდან HL კრიოგენული მოწყობილობები (HL Cryo) ამ სისტემის ოპტიმიზაციასა და გაუმჯობესებას ახდენენ და თანამშრომლობენ MBE მოწყობილობების საერთაშორისო მწარმოებლებთან. MBE აღჭურვილობის მწარმოებლებს, მათ შორის DCA, Reber, აქვთ თანამშრომლობითი ურთიერთობა ჩვენს კომპანიასთან. MBE აღჭურვილობის მწარმოებლებმა, მათ შორის DCA და Reber, თანამშრომლობდნენ უამრავ პროექტში.
Riber SA არის მოლეკულური სხივის ეპიტაქსიის (MBE) პროდუქტებისა და მასთან დაკავშირებული სერვისების წამყვანი გლობალური მიმწოდებელი, რთული ნახევარგამტარული კვლევისა და სამრეწველო პროგრამებისთვის. Riber MBE მოწყობილობას შეუძლია სუბსტრატზე მასალის ძალიან თხელი ფენები შეიტანოს, ძალიან მაღალი კონტროლით. HL კრიოგენული აღჭურვილობის ვაკუუმური მოწყობილობა (HL Cryo) აღჭურვილია Riber SA– ით, ყველაზე დიდი მოწყობილობა არის Riber 6000, ხოლო ყველაზე პატარა კომპაქტურია 21. ის კარგ მდგომარეობაშია და აღიარებულია მომხმარებლების მიერ.
DCA არის მსოფლიოში წამყვანი ოქსიდი MBE. 1993 წლიდან ჩატარდა ჟანგვის ტექნიკის სისტემატური განვითარება, ანტიოქსიდანტური სუბსტრატის გათბობა და ანტიოქსიდანტური წყაროები. ამ მიზეზით, ბევრმა წამყვანმა ლაბორატორიამ შეარჩია DCA ოქსიდის ტექნოლოგია. კომპოზიციური ნახევარგამტარული MBE სისტემები გამოიყენება მთელ მსოფლიოში. HL კრიოგენული აღჭურვილობის VJ თხევადი აზოტის მოცირკულირე სისტემა (HL კრიო) და DCA– ს მრავალ მოდელის MBE მოწყობილობებს აქვთ შესაბამისი გამოცდილება მრავალ პროექტში, მაგალითად, მოდელი P600, R450, SGC800 და ა.შ.

შესრულების მაგიდა
შანხაის ტექნიკური ფიზიკის ინსტიტუტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემია |
ჩინეთის ელექტრონული ტექნოლოგიების მე -11 ინსტიტუტი კორპორაცია |
ნახევარგამტარული ინსტიტუტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემია |
Huawei |
ალიბაბა დამოს აკადემია |
Powertech Technology Inc. |
Delta Electronics Inc. |
Suzhou Everbright Photonics |
პოსტის დრო: მაისი -26-2021