ჩიპ MBE პროექტი, რომელიც ბოლო წლებში დასრულდა

ტექნოლოგია

მოლეკულური სხივური ეპიტაქსია, ანუ MBE, კრისტალურ სუბსტრატებზე მაღალი ხარისხის თხელი კრისტალების გასაზრდელად ახალი ტექნიკაა. ულტრამაღალი ვაკუუმის პირობებში, გათბობის ღუმელი აღჭურვილია ყველა სახის საჭირო კომპონენტით და წარმოქმნის ორთქლს, კოლიმაციური სხივის ატომური ან მოლეკულური სხივის კოლიმაციური ხვრელების მეშვეობით, პირდაპირ ინექციით ხდება ერთკრისტალური სუბსტრატის შესაბამის ტემპერატურაზე, ამავდროულად აკონტროლებს მოლეკულურ სხივს სუბსტრატზე სკანირებისას, რაც საშუალებას აძლევს კრისტალის გასწორების ფენებში მოლეკულებს ან ატომებს წარმოქმნან თხელი ფენა სუბსტრატზე.

MBE აღჭურვილობის ნორმალური მუშაობისთვის საჭიროა მაღალი სისუფთავის, დაბალი წნევის და ულტრა სუფთა თხევადი აზოტის უწყვეტი და სტაბილური ტრანსპორტირება აღჭურვილობის გამაგრილებელ კამერაში. ზოგადად, თხევადი აზოტის მომწოდებელ ავზს აქვს გამოსასვლელი წნევა 0.3MPa-დან 0.8MPa-მდე. -196℃ ტემპერატურაზე თხევადი აზოტი ადვილად ორთქლდება აზოტად მილსადენში ტრანსპორტირების დროს. მას შემდეგ, რაც თხევადი აზოტი, რომლის აირისებრი თანაფარდობა დაახლოებით 1:700-ია, გაზიფიცირდება მილსადენში, ის დაიკავებს თხევადი აზოტის ნაკადის დიდ ადგილს და შეამცირებს ნორმალურ ნაკადს თხევადი აზოტის მილსადენის ბოლოს. გარდა ამისა, თხევადი აზოტის შესანახ ავზში, სავარაუდოდ, იქნება ნარჩენები, რომლებიც არ არის გაწმენდილი. თხევადი აზოტის მილსადენში, სველი ჰაერის არსებობა ასევე გამოიწვევს ყინულის წიდის წარმოქმნას. თუ ეს მინარევები გამოიყოფა აღჭურვილობაში, ეს გამოიწვევს აღჭურვილობის არაპროგნოზირებად დაზიანებას.

ამრიგად, გარე საცავის ავზში არსებული თხევადი აზოტი MBE აღჭურვილობაში გადადის მტვრისგან თავისუფალ სახელოსნოში მაღალი ეფექტურობით, სტაბილურობითა და სისუფთავით, ხოლო დაბალი წნევით, აზოტისა და მინარევების გარეშე, 24 საათის განმავლობაში შეუფერხებლად, ასეთი ტრანსპორტირების კონტროლის სისტემა კვალიფიციური პროდუქტია.

ტრადიციული ლიტერატურა (4)
ტრადიციული ლიტერატურა (1)
ტრადიციული ლიტერატურა (3)

შესაბამისი MBE აღჭურვილობა

2005 წლიდან, HL Cryogenic Equipment (HL CRYO) ახდენს ამ სისტემის ოპტიმიზაციასა და გაუმჯობესებას და თანამშრომლობს საერთაშორისო MBE აღჭურვილობის მწარმოებლებთან. MBE აღჭურვილობის მწარმოებლებს, მათ შორის DCA-ს და REBER-ს, ჩვენს კომპანიასთან თანამშრომლობა აკავშირებთ. MBE აღჭურვილობის მწარმოებლებს, მათ შორის DCA-ს და REBER-ს, თანამშრომლობენ მრავალრიცხოვან პროექტებში.

Riber SA არის მოლეკულური სხივური ეპიტაქსიის (MBE) პროდუქტებისა და მასთან დაკავშირებული მომსახურების წამყვანი გლობალური მიმწოდებელი ნაერთი ნახევარგამტარული კვლევისა და სამრეწველო გამოყენებისთვის. Riber MBE მოწყობილობას შეუძლია მასალის ძალიან თხელი ფენების დატანა სუბსტრატზე, ძალიან მაღალი კონტროლით. HL Cryogenic Equipment (HL CRYO)-ს ვაკუუმური აღჭურვილობა აღჭურვილია Riber SA-თი. ყველაზე დიდი აღჭურვილობაა Riber 6000, ხოლო ყველაზე პატარა - Compact 21. ის კარგ მდგომარეობაშია და მომხმარებლების მიერ აღიარებულია.

DCA მსოფლიოში წამყვანი ოქსიდური MBE-ა. 1993 წლიდან ხორციელდება დაჟანგვის ტექნიკის, ანტიოქსიდანტური სუბსტრატის გათბობისა და ანტიოქსიდანტური წყაროების სისტემატური შემუშავება. ამ მიზეზით, ბევრმა წამყვანმა ლაბორატორიამ აირჩია DCA ოქსიდის ტექნოლოგია. კომპოზიტური ნახევარგამტარული MBE სისტემები გამოიყენება მთელ მსოფლიოში. HL Cryogenic Equipment-ის (HL CRYO) VJ თხევადი აზოტის ცირკულირების სისტემას და DCA-ს მრავალი მოდელის MBE აღჭურვილობას აქვთ შესაბამისი გამოცდილება მრავალ პროექტში, როგორიცაა P600, R450, SGC800 მოდელები და ა.შ.

ტრადიციული ლიტერატურა (2)

შესრულების ცხრილი

შანხაის ტექნიკური ფიზიკის ინსტიტუტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემია
ჩინეთის ელექტრონიკის ტექნოლოგიების კორპორაციის მე-11 ინსტიტუტი
ნახევარგამტარების ინსტიტუტი, ჩინეთის მეცნიერებათა აკადემია
ჰუავეი
ალიბაბას DAMO აკადემია
Powertech Technology Inc.
დელტა ელექტრონიქსის ინკ.
სუჯოუ ევერბრაით ფოტონიქსი

გამოქვეყნების დრო: 26 მაისი, 2021

დატოვეთ თქვენი შეტყობინება