



თხევადი აზოტით გაგრილების სისტემები ფართოდ გამოიყენება ნახევარგამტარებისა და ჩიპების ინდუსტრიაში, მათ შორის,
- მოლეკულური სხივური ეპიტაქსიის (MBE) ტექნოლოგია
- ჩიპის ტესტირება COB პაკეტის შემდეგ
მსგავსი პროდუქტები
მოლეკულური სხივური ეპიტაქსია
მოლეკულური სხივური ეპიტაქსიის (MBE) ტექნოლოგია შემუშავდა 1950-იან წლებში ნახევარგამტარული თხელი აპკის მასალების ვაკუუმური აორთქლების ტექნოლოგიის გამოყენებით მოსამზადებლად. ულტრამაღალი ვაკუუმის ტექნოლოგიის განვითარებით, ტექნოლოგიის გამოყენება გაფართოვდა ნახევარგამტარული მეცნიერების სფეროში.
HL-მა შენიშნა MBE თხევადი აზოტით გაგრილების სისტემის მოთხოვნა, ორგანიზებული ტექნიკური ხერხემალი შექმნა MBE ტექნოლოგიისთვის სპეციალური MBE თხევადი აზოტით გაგრილების სისტემის წარმატებით შესამუშავებლად და ვაკუუმ-იზოლირებული მილსადენების სისტემის სრული კომპლექტი შექმნა, რომელიც გამოიყენება მრავალ საწარმოში, უნივერსიტეტსა და კვლევით ინსტიტუტში.
ნახევარგამტარული და ჩიპების ინდუსტრიის საერთო პრობლემები მოიცავს:
- თხევადი აზოტის წნევა ტერმინალურ (MBE) აღჭურვილობაში. თავიდან აიცილეთ წნევის გადატვირთვის შედეგად ტერმინალური (MBE) აღჭურვილობის დაზიანება.
- კრიოგენული სითხის შესასვლელი და გამოსასვლელი მრავალი კონტროლი
- თხევადი აზოტის ტემპერატურა ტერმინალურ აღჭურვილობაში
- კრიოგენული აირის გამოყოფის გონივრული რაოდენობა
- მთავარი და განშტოებული ხაზების (ავტომატური) გადართვა
- VIP-ის წნევის რეგულირება (შემცირება) და სტაბილურობა
- ავზიდან შესაძლო მინარევების და ყინულის ნარჩენების გაწმენდა
- ტერმინალის სითხის აღჭურვილობის შევსების დრო
- მილსადენის წინასწარი გაგრილება
- სითხის წინააღმდეგობა VIP სისტემაში
- თხევადი აზოტის დანაკარგის კონტროლი სისტემის შეწყვეტილი მომსახურების დროს
HL-ის ვაკუუმ-იზოლირებული მილი (VIP) სტანდარტულად აგებულია ASME B31.3 წნევის მილსადენების კოდის შესაბამისად. საინჟინრო გამოცდილება და ხარისხის კონტროლის უნარი უზრუნველყოფს მომხმარებლის ქარხნის ეფექტურობას და ეკონომიურობას.
გადაწყვეტილებები
HL Cryogenic Equipment მომხმარებლებს სთავაზობს ვაკუუმ-იზოლირებულ მილსადენების სისტემას, რომელიც აკმაყოფილებს ნახევარგამტარებისა და ჩიპების ინდუსტრიის მოთხოვნებსა და პირობებს:
1. ხარისხის მართვის სისტემა: ASME B31.3 წნევის მილსადენების კოდი.
2. სპეციალური ფაზის გამყოფი მრავალჯერადი კრიოგენული სითხის შესასვლელით და გამოსასვლელით, ავტომატური მართვის ფუნქციით, აკმაყოფილებს აირის გამოყოფის, გადამუშავებული თხევადი აზოტის და თხევადი აზოტის ტემპერატურის მოთხოვნებს.
3. ადეკვატური და დროული გამონაბოლქვის დიზაინი უზრუნველყოფს, რომ ტერმინალური აღჭურვილობა ყოველთვის მუშაობდეს დაპროექტებული წნევის მნიშვნელობის ფარგლებში.
4. აირა-თხევადი ბარიერი მოთავსებულია ვერტიკალურ VI მილში, VI მილსადენის ბოლოში. აირა-თხევადი ბარიერი იყენებს გაზის დალუქვის პრინციპს, რათა დაბლოკოს სითბო VI მილსადენის ბოლოდან VI მილსადენში და ეფექტურად შეამციროს თხევადი აზოტის დანაკარგი სისტემის წყვეტილი და წყვეტილი მომსახურების დროს.
5. VI ვაკუუმ-იზოლირებული სარქვლის (VIV) სერიის მიერ კონტროლირებადი მილსადენები: მათ შორის ვაკუუმ-იზოლირებული (პნევმატური) გამომრთველი სარქველი, ვაკუუმ-იზოლირებული საკონტროლო სარქველი, ვაკუუმ-იზოლირებული მარეგულირებელი სარქველი და ა.შ. VIV-ის სხვადასხვა ტიპის მოდულური გაერთიანება შესაძლებელია VIP-ის საჭიროებისამებრ სამართავად. VIV ინტეგრირებულია მწარმოებლის მიერ VIP-ის წინასწარ დამზადებასთან, ადგილზე იზოლირებული დამუშავების გარეშე. VIV-ის დალუქვის ერთეულის შეცვლა მარტივად შეიძლება. (HL იღებს მომხმარებლის მიერ მითითებულ კრიოგენულ სარქვლის ბრენდს და შემდეგ HL-ის მიერ აწარმოებს ვაკუუმ-იზოლირებულ სარქველებს. ზოგიერთი ბრენდისა და მოდელის სარქველი შეიძლება არ იყოს ვაკუუმ-იზოლირებულ სარქველებად დამზადების საშუალება.)
6. სისუფთავე, თუ შიდა მილის ზედაპირის სისუფთავესთან დაკავშირებით დამატებითი მოთხოვნები არსებობს. რეკომენდებულია, რომ მომხმარებლებმა VIP შიდა მილებად აირჩიონ BA ან EP უჟანგავი ფოლადის მილები, რათა კიდევ უფრო შემცირდეს უჟანგავი ფოლადის დაღვრა.
7. ვაკუუმური იზოლირებული ფილტრი: გაწმინდეთ ავზიდან შესაძლო მინარევები და ყინულის ნარჩენები.
8. რამდენიმე ან მეტი დღის განმავლობაში გათიშვის ან ტექნიკური მომსახურების შემდეგ, კრიოგენული სითხის შეყვანამდე აუცილებელია VI მილსადენისა და ტერმინალური აღჭურვილობის წინასწარი გაგრილება, რათა თავიდან იქნას აცილებული ყინულის წიდის წარმოქმნა კრიოგენული სითხის VI მილსადენსა და ტერმინალურ აღჭურვილობაში პირდაპირ მოხვედრის შემდეგ. წინასწარი გაგრილების ფუნქცია გათვალისწინებული უნდა იყოს დიზაინში. ის უზრუნველყოფს ტერმინალური აღჭურვილობისა და VI მილსადენის დამხმარე აღჭურვილობის, როგორიცაა სარქველები, უკეთეს დაცვას.
9. შესაფერისია როგორც დინამიური, ასევე სტატიკური ვაკუუმური იზოლირებული (მოქნილი) მილსადენების სისტემისთვის.
10. დინამიური ვაკუუმ-იზოლირებული (მოქნილი) მილსადენების სისტემა: შედგება VI მოქნილი შლანგებისგან და/ან VI მილისგან, შემაერთებელი შლანგებისგან, ვაკუუმ-იზოლირებული სარქვლის სისტემისგან, ფაზური გამყოფებისგან და დინამიური ვაკუუმ-ტუმბო სისტემისგან (მათ შორის ვაკუუმ-ტუმბოებისგან, სოლენოიდური სარქველებისგან და ვაკუუმ-ლიანდაგებისგან და ა.შ.). ერთი VI მოქნილი შლანგის სიგრძე შეიძლება მორგებული იყოს მომხმარებლის მოთხოვნების შესაბამისად.
11. შეერთების სხვადასხვა ტიპი: შესაძლებელია ვაკუუმური ბაიონეტის შეერთების (VBC) ტიპის და შედუღებული შეერთების არჩევა. VBC ტიპის შეერთებას ადგილზე იზოლირებული დამუშავება არ სჭირდება.